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全自動(dòng)減薄機(jī)GR-6110

產(chǎn)品分類：

自動(dòng)減薄機(jī)

關(guān)鍵詞：

在線詢價(jià)

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源頭廠家，自主研發(fā)，支持定制，一年質(zhì)保，終身售后

產(chǎn)品描述

技術(shù)特點(diǎn)
●同時(shí)支持深切緩進(jìn)給(Creep- -Feed)和軸向進(jìn)給(In- Feed)磨削原理;
●可選配全自動(dòng)上下料系統(tǒng)，設(shè)備可由自動(dòng)減薄設(shè)備變?yōu)槿詣?dòng)減薄設(shè)備;
●GPP行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)明顯;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達(dá)360pcs/h;
●節(jié)省空間的設(shè)計(jì)，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。

性能指標(biāo)

自動(dòng)減薄機(jī)		GR-6110
最大加工物尺寸		Φ156mm
主軸	主軸數(shù)量	1
	輸出功率	7.5KW
	轉(zhuǎn)速	1000-6000rpm
Z軸	行程	120mm
	進(jìn)給速度	0.00001~0.08mm/s
	最大返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1pm
承片臺(tái)數(shù)量		4 (可定制)
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速		0-20rpm
減薄精度	片內(nèi)厚度偏差	<5μm
	片間厚度偏差	<±5μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測(cè)量?jī)x	測(cè)量范圍	不適用
	分辨率
	重復(fù)精度
其他規(guī)格	夕卜形尺寸(WxDxH)	750mmx1350mmx1750mm
其他規(guī)格	設(shè)備重量	≈2000 kg